O型结构设计　　-高抗扭矩　　全新油路设计　　-滑块可充分润滑　　滑轨搭配防尘覆盖带　　-不锈钢材质　　-快速安装　　-避免刮油片密封部被螺栓孔破坏　　-预防外部粉尘从螺栓孔进入滑块内

无滑动平台构造　　-降低安装空间，使设备更小化、轻化。　　高精度制造　　-两支轨道在相对直度上高精度加工，所以在垂直度方面有特别高的精度。　　高扭转刚性　　-该滑块相较于两个HG滑块背对背以螺丝锁固在一起的刚性高50%。

・可在真空环境内(1.3×10-4Pa)执行搬运工作的气缸。

・在半导体装置等中、适合用作负载锁定室和搬送室以及搬送室和过程处理室之间的隔断阀。

・波纹管耐久性提升(法兰尺寸100、160)　　・寿命：200万次　　・可实现装置的省空间化　　无排气方向限制(阀体侧←→波纹管侧 两方向均可)　　安装姿势的自由度提升　　・轻量、紧凑

・用于半导体等需要高洁净度气体的行业。　　・可作为气体的切断阀使用。　　・接触气体部分无弹簧，驱动部也使用膜片隔离，因此减小了气路的死区，抑制了粒子的产生。

・风冷型设置方便、操作简单、在任何地点都可产生冷却水　　・广泛用于激光加工机/分析装置/LCD制造装置/模具温控等　　・紧凑　W377×H615×D500mm、40kg(HRS012/018/024)　　・定时运转、液面下降、停电复归、防冻结功能等　　・有自我诊断功能

・追加小型、节能、输出量增加的主体材质聚丙烯(PP)　　・小型：高185mm×宽134mm×深202mm　　・轻量：3.0kg(聚丙烯)　　・接液泵体材质　　可从PP(聚丙烯)、铝合金、不锈钢中选择　　・备有自动运转型、气控型　　・自给式，无需注水

・材质：Super PFA。