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・用于半导体等需要高洁净度气体的行业。 ・可作为气体的切断阀使用。 ・接触气体部分无弹簧，驱动部也使用膜片隔离，因此减…
・可作为气体的切断阀使用。
・接触气体部分无弹簧，驱动部也使用膜片隔离，因此减小了气路的死区，抑制了粒子的产生。
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